International Organization for Standardization (ISO)
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ISO/TS 18507:2015
ISO/TS 18507:2015 Normative Verweisungen
ISO 14706:2000 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
ISO 17331:2004 Chemische Oberflächenanalyse – Chemische Methoden zur Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumwafer-Arbeitsreferenzmaterialien und deren Bestimmung durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
ISO 18115-1:2013 Chemische Oberflächenanalyse.Vokabular.Teil 1: Allgemeine Begriffe und Begriffe, die in der Spektroskopie verwendet werden
ISO 18115-2:2013 Chemische Oberflächenanalyse.Vokabular.Teil 2: Begriffe, die in der Rastersondenmikroskopie verwendet werden
ISO/TS 18507:2015 Veröffentlichungsverlauf
2015ISO/TS 18507:2015 Chemische Oberflächenanalyse – Einsatz der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie in der biologischen und Umweltanalyse