ISO/TS 20175:2018
Vakuumtechnik - Vakuummessgeräte - Charakterisierung von Quadrupol-Massenspektrometern zur Partialdruckmessung

Standard-Nr.

ISO/TS 20175:2018

Erscheinungsdatum

2018

Organisation

International Organization for Standardization (ISO)

Letzte Version

ISO/TS 20175:2018

ISO/TS 20175:2018 Normative Verweisungen

• DIN 28410:1968 Vakuumtechnik; Partialdruckmessgeräte für Massenspektrometer; Definitionen, Eigenschaften, Betriebsbedingungen
• ISO 14291:2012 Vakuummeter – Definitionen und Spezifikationen für Quadrupol-Massenspektrometer
• ISO 3567:2011 Vakuummessgeräte – Kalibrierung durch direkten Vergleich mit einem Referenzmessgerät
• ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 Messunsicherheit – Teil 3: Leitfaden zum Ausdruck der Messunsicherheit (GUM:1995)

ISO/TS 20175:2018 Veröffentlichungsverlauf

• 2018 ISO/TS 20175:2018 Vakuumtechnik - Vakuummessgeräte - Charakterisierung von Quadrupol-Massenspektrometern zur Partialdruckmessung