IEC 62047-16:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmungs- und Auslegerablenkungsverfahren

Standard-Nr.

IEC 62047-16:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

International Electrotechnical Commission (IEC)

Letzte Version

IEC 62047-16:2015

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IEC 47F/209/FDIS:2014

IEC 62047-16:2015 Normative Verweisungen

• IEC 62047-21:2014 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 21: Prüfverfahren für die Poisson-Zahl von Dünnschicht-MEMS-Materialien

IEC 62047-16:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 IEC 62047-16:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmungs- und Auslegerablenkungsverfahren