KS C IEC 62047-22:2016
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

KS C IEC 62047-22:2016

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Zustand

ersetzt werden 2021-01

ersetzt durch

KS C IEC 62047-22-2021

Letzte Version

KS C IEC 62047-22-2021

KS C IEC 62047-22:2016 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 KS C IEC 62047-22-2021 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
• 2016 KS C IEC 62047-22:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien