KS C IEC 62047-8:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Streifenbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

KS C IEC 62047-8:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Zustand

ersetzt werden 2020-01

ersetzt durch

KS C IEC 62047-8-2020

Letzte Version

KS C IEC 62047-8-2020

KS C IEC 62047-8:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2020 KS C IEC 62047-8-2020 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Streifenbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme
• 2015 KS C IEC 62047-8:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Streifenbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme