ASTM F3166-16
Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan, die für die Metallisierung von Through-Silicon Vias (TSV) verwendet werden
- Standard-Nr.
- ASTM F3166-16
- Erscheinungsdatum
- 2016
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Letzte Version
- ASTM F3166-16
ASTM F3166-16 Normative Verweisungen
- ASTM B209 Standardspezifikation für Bleche und Platten aus Aluminium und Aluminiumlegierungen
- ASTM B248 Standardspezifikation für allgemeine Anforderungen an Platten, Bleche, Bänder und gewalzte Stangen aus bearbeitetem Kupfer und Kupferlegierungen
- ASTM E1001 Standardpraxis zur Erkennung und Bewertung von Diskontinuitäten mit der Immersed Pulse-Echo-Ultraschallmethode unter Verwendung von Longitudinalwellen
- ASTM E112 Standardtestmethoden zur Bestimmung der durchschnittlichen Korngröße
- ASTM F1512 Standardpraxis für die Ultraschall-C-Scan-Verbindungsbewertung von Sputtertarget-Trägerplattenbaugruppen
- ASTM F1709 Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan für elektronische Dünnschichtanwendungen
- ASTM F1710 Standardtestmethode für Spurenmetallverunreinigungen in Titan in elektronischer Qualität mit einem Glimmentladungs-Massenspektrometer mit hoher Massenauflösung
ASTM F3166-16 Veröffentlichungsverlauf
- 2016 ASTM F3166-16 Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan, die für die Metallisierung von Through-Silicon Vias (TSV) verwendet werden
