BS EN 62047-26:2016
Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Beschreibung und Messmethoden für Mikrograben- und Nadelstrukturen
- Standard-Nr.
- BS EN 62047-26:2016
- Erscheinungsdatum
- 2016
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS EN 62047-26:2016
BS EN 62047-26:2016 Normative Verweisungen
- EN ISO 3274:1997 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Profilmethode – Nominale Eigenschaften von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten).
- ISO 129-1 Technische Produktdokumentation (TPD) – Darstellung von Maßen und Toleranzen – Teil 1: Allgemeine Grundsätze – Änderung 1*， 2020-03-09 Aktualisieren
- ISO 3274:1996 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: Profilmethode – Nominale Eigenschaften von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten).
- ISO/IEC Guide 98-3:2008 Messunsicherheit – Teil 3: Leitfaden zum Ausdruck der Messunsicherheit (GUM:1995)
BS EN 62047-26:2016 Veröffentlichungsverlauf
- 2016 BS EN 62047-26:2016 Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Beschreibung und Messmethoden für Mikrograben- und Nadelstrukturen
