SJ/T 11489-2015
Testmethode zur Messung der Ätzgrubendichte (EPD) in Indiumphosphid-Wafern mit geringer Versetzungsdichte (Englische Version)

Standard-Nr.
SJ/T 11489-2015
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2015
Organisation
Professional Standard - Electron
Letzte Version
SJ/T 11489-2015

SJ/T 11489-2015 Normative Verweisungen

  • GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen

SJ/T 11489-2015 Veröffentlichungsverlauf

  • 2015 SJ/T 11489-2015 Testmethode zur Messung der Ätzgrubendichte (EPD) in Indiumphosphid-Wafern mit geringer Versetzungsdichte
Testmethode zur Messung der Ätzgrubendichte (EPD) in Indiumphosphid-Wafern mit geringer Versetzungsdichte



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