GB/T 32278-2015
Prüfverfahren für die Ebenheit eines Siliziumkarbid-Einzelwafers (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 32278-2015

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2017

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 32278-2015

GB/T 32278-2015 Normative Verweisungen

• GB 50073 Code für die Gestaltung von Reinräumen
• GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen

GB/T 32278-2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2017 GB/T 32278-2015 Prüfverfahren für die Ebenheit eines Siliziumkarbid-Einzelwafers