BS ISO 13083:2015
Chemische Oberflächenanalyse. Rastersondenmikroskopie. Standards zur Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung von elektrischen Rastersondenmikroskopen (ESPMs) wie SSRM und SCM für die 2D-Dotierstoff-Bildgebung und andere Zwecke
- Standard-Nr.
- BS ISO 13083:2015
- Erscheinungsdatum
- 2015
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS ISO 13083:2015
BS ISO 13083:2015 Normative Verweisungen
- ISO 18115-2 Chemische Oberflächenanalyse – Vokabular – Teil 2: Begriffe, die in der Rastersondenmikroskopie verwendet werden*， 2021-12-21 Aktualisieren
- ISO 18516 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in strahlbasierten Methoden im Bereich von Nanometern bis Mikrometern*， 2019-01-14 Aktualisieren
BS ISO 13083:2015 Veröffentlichungsverlauf
- 2015 BS ISO 13083:2015 Chemische Oberflächenanalyse. Rastersondenmikroskopie. Standards zur Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung von elektrischen Rastersondenmikroskopen (ESPMs) wie SSRM und SCM für die 2D-Dotierstoff-Bildgebung und andere Zwecke
