SJ/T 11498-2015
Testverfahren zur Messung der Sauerstoffkontamination in stark dotierten Siliziumsubstraten mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie (Englische Version)

Standard-Nr.

SJ/T 11498-2015

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

Professional Standard - Electron

Letzte Version

SJ/T 11498-2015

SJ/T 11498-2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 SJ/T 11498-2015 Testverfahren zur Messung der Sauerstoffkontamination in stark dotierten Siliziumsubstraten mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie