KS I ISO 14644-10:2014
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration

Standard-Nr.
KS I ISO 14644-10:2014
Erscheinungsdatum
2014
Organisation
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
Zustand
ersetzt durch
KS I ISO 14644-10:2019
Letzte Version
KS I ISO 14644-10:2019

KS I ISO 14644-10:2014 Veröffentlichungsverlauf

  • 2019 KS I ISO 14644-10:2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration
  • 2014 KS I ISO 14644-10:2014 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration



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