KS C 6521-2008
Bewertungsmethode für die Beschichtung von Komponenten von Halbleiter- und LCD-Prozessen

Standard-Nr.
KS C 6521-2008
Erscheinungsdatum
2008
Organisation
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
Zustand
ersetzt durch
KS C 6521-2019
Letzte Version
KS C 6521-2021

KS C 6521-2008 Veröffentlichungsverlauf

  • 2021 KS C 6521-2021 Bewertungsmethode für die Beschichtung von Komponenten von Halbleiter- und LCD-Prozessen
  • 2019 KS C 6521-2019 Bewertungsmethode für die Beschichtung von Komponenten von Halbleiter- und LCD-Prozessen
  • 2008 KS C 6521-2008 Bewertungsmethode für die Beschichtung von Komponenten von Halbleiter- und LCD-Prozessen



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