ISO 14706:2014
Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
- Standard-Nr.
- ISO 14706:2014
- Erscheinungsdatum
- 2014
- Organisation
- International Organization for Standardization (ISO)
- Letzte Version
- ISO 14706:2014
ISO 14706:2014 Normative Verweisungen
- ISO 14644-1:1999 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit
- ISO 5725-2:1994 Genauigkeit (Richtigkeit und Präzision) von Messmethoden und -ergebnissen – Teil 2: Grundlegende Methode zur Bestimmung der Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit einer Standardmessmethode
ISO 14706:2014 Veröffentlichungsverlauf
- 2014 ISO 14706:2014 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
- 2000 ISO 14706:2000 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
