GB/T 30867-2014
Testverfahren zur Messung der Dicke und der Gesamtdickenschwankung von monokristallinen Siliziumkarbid-Wafern (Englische Version)

Standard-Nr.
GB/T 30867-2014
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2014
Organisation
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version
GB/T 30867-2014

GB/T 30867-2014 Normative Verweisungen

  • GB/T 14264 Halbleitermaterialien – Begriffe und Definitionen
  • GB/T 25915.1-2010 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit

GB/T 30867-2014 Veröffentlichungsverlauf

  • 2014 GB/T 30867-2014 Testverfahren zur Messung der Dicke und der Gesamtdickenschwankung von monokristallinen Siliziumkarbid-Wafern
Testverfahren zur Messung der Dicke und der Gesamtdickenschwankung von monokristallinen Siliziumkarbid-Wafern



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