ISO 11952:2014
Oberflächenchemische Analyse – Rastersondenmikroskopie – Bestimmung geometrischer Größen mittels SPM: Kalibrierung von Messsystemen

Standard-Nr.
ISO 11952:2014
Erscheinungsdatum
2014
Organisation
International Organization for Standardization (ISO)
Zustand
ersetzt durch
ISO 11952:2019
Letzte Version
ISO 11952:2019

ISO 11952:2014 Normative Verweisungen

  • IEC/TS 62622:2012 Künstliche Gitter in der Nanotechnologie – Beschreibung und Messung von Dimensionsqualitätsparametern
  • ISO 11039:2012 Oberflächenchemische Analyse – Rastersondenmikroskopie – Messung der Driftrate
  • ISO 12179:2000 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: Profilmethode – Kalibrierung von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten).
  • ISO 12853:1997 Optik und optische Instrumente - Mikroskope - Informationen für den Benutzer
  • ISO 18115-2:2013 Chemische Oberflächenanalyse.Vokabular.Teil 2: Begriffe, die in der Rastersondenmikroskopie verwendet werden
  • ISO 3274:1996 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächentextur: Profilmethode – Nominale Eigenschaften von Kontaktinstrumenten (Stiftinstrumenten).
  • ISO 4287:1997 Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Oberflächentextur: Profilmethode – Begriffe, Definitionen und Oberflächentexturparameter
  • ISO 4288:1996 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Profilmethode - Regeln und Verfahren zur Beurteilung der Oberflächenbeschaffenheit
  • ISO 5436-1:2000 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Profilmethode; Messnormen – Teil 1: Materialmaße
  • ISO Guide 30:1992 Begriffe und Definitionen, die im Zusammenhang mit Referenzmaterialien verwendet werden
  • ISO Guide 34:2009 Allgemeine Anforderungen an die Kompetenz von Referenzmaterialherstellern
  • ISO/IEC Guide 98-3:2008 Messunsicherheit – Teil 3: Leitfaden zum Ausdruck der Messunsicherheit (GUM:1995)

ISO 11952:2014 Veröffentlichungsverlauf

  • 2019 ISO 11952:2019 Oberflächenchemische Analyse – Rastersondenmikroskopie – Bestimmung geometrischer Größen mittels SPM: Kalibrierung von Messsystemen
  • 2014 ISO 11952:2014 Oberflächenchemische Analyse – Rastersondenmikroskopie – Bestimmung geometrischer Größen mittels SPM: Kalibrierung von Messsystemen
Oberflächenchemische Analyse – Rastersondenmikroskopie – Bestimmung geometrischer Größen mittels SPM: Kalibrierung von Messsystemen



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