NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme

Standard-Nr.

NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014

Erscheinungsdatum

2014

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014

NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Veröffentlichungsverlauf

• 2014 NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme