GB/T 30701-2014
Chemische Oberflächenanalyse. Chemische Methoden zur Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumwafer-Arbeitsreferenzmaterialien und deren Bestimmung durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF). (Englische Version)

Standard-Nr.: GB/T 30701-2014
Sprachen: Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum: 2014
Organisation: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Letzte Version: GB/T 30701-2014

GB/T 30701-2014 Normative Verweisungen

GB/T 6379.2-2004 Genauigkeit (Richtigkeit und Präzision) von Messmethoden und -ergebnissen – Teil 2: Grundlegende Methode zur Bestimmung der Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit einer Standardmessmethode
ISO 14644-1:1999 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit
ISO 14706:2000 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).

2014 GB/T 30701-2014 Chemische Oberflächenanalyse. Chemische Methoden zur Sammlung von Elementen von der Oberfläche von Siliziumwafer-Arbeitsreferenzmaterialien und deren Bestimmung durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).