BS ISO 14706:2014
Chemische Oberflächenanalyse. Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
- Standard-Nr.
- BS ISO 14706:2014
- Erscheinungsdatum
- 2014
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS ISO 14706:2014
- Ersetzen
- BS ISO 14706:2000
BS ISO 14706:2014 Normative Verweisungen
- ISO 14644-1 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit nach Partikelkonzentration*， 2015-12-01 Aktualisieren
- ISO 5725-2:1994 Genauigkeit (Richtigkeit und Präzision) von Messmethoden und -ergebnissen – Teil 2: Grundlegende Methode zur Bestimmung der Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit einer Standardmessmethode
BS ISO 14706:2014 Veröffentlichungsverlauf
- 2014 BS ISO 14706:2014 Chemische Oberflächenanalyse. Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern mittels Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
- 2001 BS ISO 14706:2000 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).
