ISO 14644-6:2007 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 6: Wortschatz
GOST R ISO 14644-9-2013 Veröffentlichungsverlauf
2013GOST R ISO 14644-9-2013 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 9. Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration