DS/EN 62047-11:2013
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme

Standard-Nr.

DS/EN 62047-11:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

Danish Standards Foundation

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DS/EN 62047-11:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2013 DS/EN 62047-11:2013 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme