BS EN 62047-11:2013
Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme
- Standard-Nr.
- BS EN 62047-11:2013
- Erscheinungsdatum
- 2013
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS EN 62047-11:2013
BS EN 62047-11:2013 Veröffentlichungsverlauf
- 2013 BS EN 62047-11:2013 Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme
