IEC 62047-11:2013
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme
- Standard-Nr.
- IEC 62047-11:2013
- Erscheinungsdatum
- 2013
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-11:2013
- Ersetzen
- IEC 47F/154/FDIS:2013
IEC 62047-11:2013 Veröffentlichungsverlauf
- 2013 IEC 62047-11:2013 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 11: Prüfverfahren für lineare Wärmeausdehnungskoeffizienten freistehender Materialien für mikroelektromechanische Systeme
