DS/EN 62047-13:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen

Standard-Nr.

DS/EN 62047-13:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Danish Standards Foundation

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DS/EN 62047-13:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 DS/EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen