DS/EN 62047-14:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 14: Verfahren zur Messung der Verformungsgrenze metallischer Filmmaterialien

Standard-Nr.

DS/EN 62047-14:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Danish Standards Foundation

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DS/EN 62047-14:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 DS/EN 62047-14:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 14: Verfahren zur Messung der Verformungsgrenze metallischer Filmmaterialien