DIN EN ISO 14644-10:2013
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration (ISO 14644-10:2013); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2013

Standard-Nr.

DIN EN ISO 14644-10:2013

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

German Institute for Standardization

Zustand

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ersetzt durch

DIN EN ISO 14644-10 E:2022-03

Letzte Version

DIN EN ISO 14644-10:2022-10

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DIN EN ISO 14644-10:2011

DIN EN ISO 14644-10:2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 DIN EN ISO 14644-10:2022-10 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich chemischer Kontamination (ISO 14644-10:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2022
• 1970 DIN EN ISO 14644-10 E:2022-03 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der chemischen Konzentrationsmethode (Entwurf)
• 2013 DIN EN ISO 14644-10:2013 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach chemischer Konzentration (ISO 14644-10:2013); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2013
• 1970 DIN EN ISO 14644-10 E:2011-06 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen Teil 10: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der chemischen Konzentrationsmethode (Entwurf)
• 0000 DIN EN ISO 14644-10:2011