NF C96-050-10*NF EN 62047-10:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien

Standard-Nr.

NF C96-050-10*NF EN 62047-10:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

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NF C96-050-10*NF EN 62047-10:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 NF C96-050-10*NF EN 62047-10:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien