NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen

Standard-Nr.

NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012

NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 NF C96-050-13*NF EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen