YS/T 839-2012
Testverfahren zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten mittels Ellipsometrie (Englische Version)

Standard-Nr.
YS/T 839-2012
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2012
Organisation
Professional Standard - Non-ferrous Metal
Letzte Version
YS/T 839-2012

YS/T 839-2012 Veröffentlichungsverlauf

  • 2012 YS/T 839-2012 Testverfahren zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten mittels Ellipsometrie
Testverfahren zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten mittels Ellipsometrie



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