LST EN 62047-13-2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012)

Standard-Nr.

LST EN 62047-13-2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Lithuanian Standards Office

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LST EN 62047-13-2012

LST EN 62047-13-2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 LST EN 62047-13-2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen (IEC 62047-13:2012)