DIN EN ISO 14644-9:2012 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration (ISO 14644-9:2012); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2012
ISO 14644-6:2007 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 6: Wortschatz
DIN EN ISO 14644-9:2012 Veröffentlichungsverlauf
2022DIN EN ISO 14644-9:2022-10 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich der Partikelkonzentration (ISO 14644-9:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2022
1970DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit anhand der Partikelkonzentrationsmethode (Entwurf)
2012DIN EN ISO 14644-9:2012 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration (ISO 14644-9:2012); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2012
2008DIN EN ISO 14644-9:2008 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit von Partikeln (ISO/DIS 14644-9:2008); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-9:2008