LST EN 62047-12-2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 12: Biegeermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien unter Verwendung resonanter Schwingungen von MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011)

Standard-Nr.

LST EN 62047-12-2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

Lithuanian Standards Office

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LST EN 62047-12-2011

LST EN 62047-12-2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 LST EN 62047-12-2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 12: Biegeermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien unter Verwendung resonanter Schwingungen von MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011)