LST EN 62047-3-2007
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 3: Dünnschicht-Standardprüfkörper für Zugversuche (IEC 62047-3:2006)

Standard-Nr.

LST EN 62047-3-2007

Erscheinungsdatum

2007

Organisation

Lithuanian Standards Office

Letzte Version

LST EN 62047-3-2007

LST EN 62047-3-2007 Veröffentlichungsverlauf

• 2007 LST EN 62047-3-2007 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 3: Dünnschicht-Standardprüfkörper für Zugversuche (IEC 62047-3:2006)