DS/EN 62047-6:2010
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

DS/EN 62047-6:2010

Erscheinungsdatum

2010

Organisation

Danish Standards Foundation

Letzte Version

DS/EN 62047-6:2010

DS/EN 62047-6:2010 Veröffentlichungsverlauf

• 2010 DS/EN 62047-6:2010 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien