DS/EN 62047-6:2010
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.
DS/EN 62047-6:2010
Erscheinungsdatum
2010
Organisation
Danish Standards Foundation
Letzte Version
DS/EN 62047-6:2010

DS/EN 62047-6:2010 Veröffentlichungsverlauf

  • 2010 DS/EN 62047-6:2010 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien



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