DS/EN 62047-10:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien

Standard-Nr.

DS/EN 62047-10:2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

Danish Standards Foundation

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DS/EN 62047-10:2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 DS/EN 62047-10:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien