BS EN 62047-13:2012
Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen

Standard-Nr.

BS EN 62047-13:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS EN 62047-13:2012

BS EN 62047-13:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 BS EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen