GB/T 28277-2012
Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Methode zur Messung der Schnitt- und Zug-Druckfestigkeit des Mikrobondbereichs (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 28277-2012

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 28277-2012

GB/T 28277-2012 Normative Verweisungen

• GB/T 19022-2003 Messmanagementsysteme – Anforderungen an Messprozesse und Messgeräte
• GB/T 26111-2010 Mikroelektromechanische Systemtechnik.Begriffe

GB/T 28277-2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 GB/T 28277-2012 Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Methode zur Messung der Schnitt- und Zug-Druckfestigkeit des Mikrobondbereichs