GB/T 28276-2012
Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Spezifikation für den Prozess gelöster Wafer (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 28276-2012
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2012
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Letzte Version
- GB/T 28276-2012
GB/T 28276-2012 Normative Verweisungen
- GB 50073-2001 Code für die Gestaltung von Reinräumen
- GB/T 19022-2003 Messmanagementsysteme – Anforderungen an Messprozesse und Messgeräte
- GB/T 26111-2010 Mikroelektromechanische Systemtechnik.Begriffe
GB/T 28276-2012 Veröffentlichungsverlauf
- 2012 GB/T 28276-2012 Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Spezifikation für den Prozess gelöster Wafer
