GB/T 28275-2012
Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Spezifikation für den KOH-Ätzprozess (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 28275-2012

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 28275-2012

GB/T 28275-2012 Normative Verweisungen

• GB 50073-2001 Code für die Gestaltung von Reinräumen
• GB/T 1031-2009 Geometrische Produktspezifikationen (GPS).Oberflächentextur:Profilmethode.Oberflächenrauheitsparameter und ihre Werte
• GB/T 26111-2010 Mikroelektromechanische Systemtechnik.Begriffe

GB/T 28275-2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 GB/T 28275-2012 Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Spezifikation für den KOH-Ätzprozess