IEC 62047-14:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 14: Verfahren zur Messung der Verformungsgrenze von metallischen Filmmaterialien

Standard-Nr.

IEC 62047-14:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

International Electrotechnical Commission (IEC)

Letzte Version

IEC 62047-14:2012

Ersetzen

IEC 47F/108/FDIS:2011

IEC 62047-14:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 IEC 62047-14:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 14: Verfahren zur Messung der Verformungsgrenze von metallischen Filmmaterialien