IEC 62047-13:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen
- Standard-Nr.
- IEC 62047-13:2012
- Erscheinungsdatum
- 2012
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-13:2012
- Ersetzen
- IEC 47F/109/FDIS:2011
IEC 62047-13:2012 Veröffentlichungsverlauf
- 2012 IEC 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen
