DIN EN 62047-10:2012
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien (IEC 62047-10:2011); Deutsche Fassung EN 62047-10:2011

Standard-Nr.

DIN EN 62047-10:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

German Institute for Standardization

Zustand

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DIN EN 62047-10:2012-03

Letzte Version

DIN EN 62047-10:2012-03

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DIN EN 62047-10:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 DIN EN 62047-10:2012-03 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien (IEC 62047-10:2011); Deutsche Fassung EN 62047-10:2011
• 2012 DIN EN 62047-10:2012 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien (IEC 62047-10:2011); Deutsche Fassung EN 62047-10:2011
• 0000 DIN IEC 62047-10:2010