EN 62047-13:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen

Standard-Nr.

EN 62047-13:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Letzte Version

EN 62047-13:2012

EN 62047-13:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Scherprüfverfahren zur Messung der Haftfestigkeit von MEMS-Strukturen