BS EN 62047-12:2011
Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Biegeermüdungstestverfahren für Dünnschichtmaterialien unter Verwendung der Resonanzschwingung von MEMS-Strukturen
- Standard-Nr.
- BS EN 62047-12:2011
- Erscheinungsdatum
- 2011
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS EN 62047-12:2011
BS EN 62047-12:2011 Veröffentlichungsverlauf
- 2011 BS EN 62047-12:2011 Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte. Biegeermüdungstestverfahren für Dünnschichtmaterialien unter Verwendung der Resonanzschwingung von MEMS-Strukturen
