EN 62047-10:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien

Standard-Nr.

EN 62047-10:2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Letzte Version

EN 62047-10:2011

EN 62047-10:2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 EN 62047-10:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien