IEC 62047-12:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 12: Biegeermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien unter Verwendung resonanter Schwingungen von MEMS-Strukturen
- Standard-Nr.
- IEC 62047-12:2011
- Erscheinungsdatum
- 2011
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-12:2011
- Ersetzen
- IEC 47F/80/FDIS:2011
IEC 62047-12:2011 Veröffentlichungsverlauf
- 2011 IEC 62047-12:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 12: Biegeermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien unter Verwendung resonanter Schwingungen von MEMS-Strukturen
