BS EN 62047-8:2011
Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Bauelemente. Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

BS EN 62047-8:2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS EN 62047-8:2011

ersetzt durch

SAE AMS 4931E-2015

BS EN 62047-8:2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 BS EN 62047-8:2011 Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Bauelemente. Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme