ASTM F1238-95(2011)
Standardspezifikation für feuerfeste Silizid-Sputtertargets für mikroelektronische Anwendungen

Standard-Nr.

ASTM F1238-95(2011)

Erscheinungsdatum

1995

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Letzte Version

ASTM F1238-95(2011)

ASTM F1238-95(2011) Veröffentlichungsverlauf

• 1995 ASTM F1238-95(2011) Standardspezifikation für feuerfeste Silizid-Sputtertargets für mikroelektronische Anwendungen
• 1995 ASTM F1238-95(2003) Standardspezifikation für feuerfeste Silizid-Sputtertargets für mikroelektronische Anwendungen
• 1995 ASTM F1238-95(1999) Standardspezifikation für feuerfeste Silizid-Sputtertargets für mikroelektronische Anwendungen