GOST R 8.659-2009
Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Instrumente zur Messung der Eigenschaften der ultravioletten Strahlung der technologischen Prüfung der Nanophotolitographie. Überprüfungsverfahren

Standard-Nr.

GOST R 8.659-2009

Erscheinungsdatum

2009

Organisation

RU-GOST R

Letzte Version

GOST R 8.659-2009

GOST R 8.659-2009 Normative Verweisungen

• GOST 8.197-2005 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Staatliches Verifizierungssystem für Instrumente zur Messung der spektralen Strahldichte im Spektralbereich von 0,04 bis 0,25 ?
• GOST 8.207-1976 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Direkte Messungen mit mehreren Beobachtungen. Methoden zur Verarbeitung der Beobachtungsergebnisse. Grundprinzipien
• GOST 8.552-2001 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Staatliches Verifizierungssystem für Instrumente zur Messung des Strahlungsflusses und der Bestrahlungsstärke im Spektralbereich von 0,03 bis 0,40 mcm

GOST R 8.659-2009 Veröffentlichungsverlauf

• 2009 GOST R 8.659-2009 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Instrumente zur Messung der Eigenschaften der ultravioletten Strahlung der technologischen Prüfung der Nanophotolitographie. Überprüfungsverfahren