IEC 62047-8:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

IEC 62047-8:2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

International Electrotechnical Commission (IEC)

Letzte Version

IEC 62047-8:2011

Ersetzen

IEC 47F/71/FDIS:2010

IEC 62047-8:2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 IEC 62047-8:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Bandbiegetestverfahren zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme